常見故障1：環氧乙烷滅菌器運行時出現預真空達不到機器設定的要求，導致設備不能繼續工作，并報預真空超時故障。
故障分析與檢修：當按下開始鍵機器工作后，發現在達到設定溫度55°后，機器開始抽真空，壓力只能達到180mbar，未達到機器內部預真空要求160mbar以下。由于機器真空泵是使用壓縮空氣做為介質，檢查壓縮空氣壓力和流量都在正常范圍之內，并發現真空泵電磁閥開啟正常。
可能真空泵故障引起，將真空泵拆下并分解，發現真空泵內部有一細小管道(小于2mm)有油污凝結，噴入表面清潔劑，油污凝結物分解，管道通暢并安裝回機器。再次使用機器，抽真空壓力能夠到達160mbar以下，故障解除。
故障現象2：環氧乙烷滅菌器正常運行完畢后，爐門不能開啟，一直持續有抽真空聲音。
故障分析與檢修：
查看機器打印走勢記錄，發現在滅菌過程中環氧乙烷被動抽出腔體，導致滅菌失敗，并在結束后不能開門。
首先檢查電路故障，發現真空泵電磁閥并沒有電壓通過，說明電路正常。而電磁閥一直開啟，拆解電磁閥后發現電磁閥芯橡膠部分不規則膨脹變形，閥芯不能正常閉合，壓縮空氣非正常通過引起真空泵異常工作狀態。更換電磁閥后機器正常工作，故障排除。
故障現象3：滅菌完畢后，出現穿刺頂針故障，爐門開啟后發現穿刺頂針沒有復位。
故障分析與檢修：
該故障非常明確是由穿刺頂針損壞引起，拆解穿刺頂針發現其氣缸內部油污凝結，導致活塞不能復位。利用表面清潔劑清除，安裝后發現頂針自動復位，故障解除。由于穿刺頂針需壓縮空氣做為動力，長此以往，油膩沉淀形成故障。
